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產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > 氣體流量控制器 > 天然氣流量計 > D07系七星華創流量計

七星華創流量計

簡要描述:七(qi)星華創(chuang)流(liu)量(liang)(liang)計流(liu)量(liang)(liang)傳感器(qi)(qi)采用毛細管傳熱(re)溫差量(liang)(liang)熱(re)法原理(li)測量(liang)(liang)氣體(ti)的(de)質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(無需溫度(du)壓力(li)補償)。將傳感器(qi)(qi)加熱(re)電(dian)橋(qiao)測得的(de)流(liu)量(liang)(liang)信(xin)(xin)號送入放(fang)大器(qi)(qi)放(fang)大, 放(fang)大后的(de)流(liu)量(liang)(liang)檢測電(dian)壓與(yu)(yu)設定(ding)電(dian)壓進行比(bi)較, 再將差值信(xin)(xin)號放(fang)大后去控制調節閥(fa)門(men),閉環控制流(liu)過通(tong)(tong)道的(de)流(liu)量(liang)(liang)使之與(yu)(yu)設定(ding)的(de)流(liu)量(liang)(liang)相(xiang)等。分流(liu)器(qi)(qi)決定(ding)主(zhu)通(tong)(tong)道的(de)流(liu)量(liang)(liang)。

產品型號: D07系

所屬分類:天(tian)然氣流量計

更新(xin)時(shi)間:2022-03-24

廠商性質:生產廠家

詳情(qing)介紹
品牌其他品牌產地類別國產
應用領域化工,生物產業,石油,電子,航天

七星華創流量計質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)(Mass Flow Meter 縮(suo)寫(xie)為(wei) MFM) 用(yong)于對氣(qi)(qi)(qi)體的(de)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行精密測(ce)量(liang)(liang);質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控(kong)制器 (Mass Flow Controller 縮(suo)寫(xie)為(wei) MFC) 用(yong)于對氣(qi)(qi)(qi)體的(de)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行精密測(ce)量(liang)(liang)和控(kong)制。它(ta)(ta)們(men)在(zai)半(ban)導體和集成電路(lu)工(gong)業(ye)、特種(zhong)材料學科(ke)、化學工(gong)業(ye)、石油工(gong)業(ye)、醫藥、環保和真空等(deng)多種(zhong)領域的(de)科(ke)研和生產(chan)中有著重要的(de)應用(yong)。其典型(xing)的(de)應用(yong)場合包(bao)括: 電子(zi)工(gong)藝設備, 如(ru)擴散、氧化、外延、CVD、等(deng)離子(zi)刻蝕(shi)、濺射、離子(zi)注入; 以(yi)及(ji)(ji)鍍膜設備、光纖熔(rong)煉(lian)、微反(fan)應裝置、混氣(qi)(qi)(qi)配氣(qi)(qi)(qi)系統(tong)、毛細管測(ce)量(liang)(liang)、氣(qi)(qi)(qi)相色(se)譜儀(yi)及(ji)(ji)其它(ta)(ta)分(fen)析儀(yi)器。


七星華創流量計使用腐蝕性氣體問(wen)題:

流(liu)量(liang)(liang)計氣(qi)流(liu)通道采用(yong)(yong)(yong)(yong)的(de)材(cai)料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相(xiang)當(dang)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu) 316L 不銹鋼),氟橡膠等耐蝕材(cai)料。在用(yong)(yong)(yong)(yong)戶(hu)系統(tong)無水汽(qi)、低泄漏(lou)、勤清洗、使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)得當(dang)的(de)條件下,可以用(yong)(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)控(kong)制一般的(de)腐蝕性(xing)氣(qi)體(ti)。使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)氨(an)氣(qi)的(de)用(yong)(yong)(yong)(yong)戶(hu)應在定貨時聲明。9E、9EM 型(xing)流(liu)量(liang)(liang)計產品不能用(yong)(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)有機(ji)溶(rong)劑蒸汽(qi)(如丙酮等)和 BCl3、BBr3 等強腐蝕性(xing)氣(qi)體(ti)。閥口的(de)密封(feng)材(cai)料通常為氟橡膠或耐氨(an)橡膠,對于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu) 9E 型(xing)質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器也可以選(xuan)用(yong)(yong)(yong)(yong)聚四氟乙烯;當(dang)選(xuan)用(yong)(yong)(yong)(yong)四氟乙烯時,閥口容易出現(xian)漏(lou)氣(qi),閥口密封(feng)的(de)漏(lou)氣(qi)率小(xiao)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)滿量(liang)(liang)程流(liu)量(liang)(liang)的(de) 2%;對于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)特殊腐蝕性(xing)氣(qi)體(ti),所有密封(feng)材(cai)料都要作相(xiang)應改變。



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